热式气体质量流量计,你了解多少?
热式气体质量流量计通常由两个基准级热电阻(RTD)组成,
一个是速度传感器RH(加热器),另一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。
当加热器传感器RH被通电加热到设定温度并保持稳定的热平衡时,
气体流过加热器会带走一部分热量,导致传感器温度降低。
测温器传感器RMG位于加热器传感器的下游,
只测量气体的温度而不受气体质量流量的直接影响。
通过测量加热器和测温器之间的温差(△T)来确定气体质量流量,
温差与气体的质量流量呈一定的比例关系。
根据加热器与测温器之间的温差以及已知的加热器特性和气体性质,
利用数学关系式可以计算出气体的质量流量。
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